Transpector MPH 殘余氣體分析儀

監(jiān)控您的過(guò)程

****的性能有助于提高產(chǎn)量并實(shí)現(xiàn)*長(zhǎng)運(yùn)行時(shí)間

持續(xù)升高的硅晶圓價(jià)格和成品需求意味著損壞晶圓的代價(jià)比以前更高。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)**的性能，有助于*大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時(shí)間。Transpector MPH 兼具較低總體擁有成本和較長(zhǎng)故障平均間隔時(shí)間的特性，有助于讓您的盈虧底線優(yōu)于市場(chǎng)上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON 發(fā)揮其在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長(zhǎng)，制造的 RGA 擁有業(yè)內(nèi)**的數(shù)據(jù)采集速度、*低可檢測(cè)分壓和*小的信噪比。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

功能

• 模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms *高每點(diǎn)數(shù)據(jù)率
• TCP/IP 以太網(wǎng)連接
• 雙絲極
• 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器
• 組合陽(yáng)極、陰極和反射極絲極套件
• 較短的傳感器可降低安裝占地面積
• 九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
• <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型號(hào))
• 信噪比更高
• 可調(diào)換傳感器和電子元件
• 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝
• 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)